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Auf dieser Website finden Sie die Lösungen zu Aufgaben aus dem Lehrbuch. Außerdem können Sie hier im Laufe der Zeit Informationen, Bilder oder Videos zu den einzelnen Kapiteln finden.

Lösungen

Lösung 8.1

Beim Lift-off Prozess wird zuerst Fotolack auf dem Wafer verteilt, belichtet und entwickelt. Erst anschließend wird ganzflächig Metall auf dem Wafer abgeschieden, so dass das Metall teils auf dem Fotolack haftet und teils auf den nach der Lackentwicklung freiliegenden Bereichen des Wafers. Wird nun der Fotolack gestrippt, wird das Metall auf dem Fotolack mit entfernt und die Metallisierung bleibt nur an den gewünschten Stellen erhalten.

Lösung 8.3

Sauerstoff als Prozessgas einleitbar, beheizbar, Vorrichtung/Halterung für einen oder noch besser mehrere Wafer.

Lösung 8.5

Die Formel für die Kapazität (Kapitel 4) zeigt, dass die Kapazität C proportional zur Elektrodenfläche A ist. Durch die Kammstrukturen werden somit größere und messtechnisch besser zu detektierende Signale erzeugt.