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Auf dieser Website finden Sie die Lösungen zu Aufgaben aus dem Lehrbuch. Außerdem können Sie hier im Laufe der Zeit Informationen, Bilder oder Videos zu den einzelnen Kapiteln finden.

Lösungen

Lösung 7.1

a) Mikroskop

b) Elektronenmikroskop

c) Rasterkraft-, Rastertunnelmikroskop

Lösung 7.2

Weitsichtigkeit: Gegenstände werden hinter der Netzhaut scharf abgebildet, die Brennweite der Linse ist für die Größe des Augapfels zu gering.

Kurzsichtigkeit: Das Bild ist vor der Netzhaut scharf, der Augapfel ist zu lang.

Lösung 7.3

Abstand des Auges vom Gegenstand für ermüdungsfreies Sehen (250 mm).

Lösung 7.4

Lösung 7.5

Lösung 7.6

Die Beugung an den Öffnungen begrenzt die Auflösung. Kleinste auflösbare Struktur bei Verwendung von sichtbarem Licht ca. 250 nm.

Lösung 7.7

  • Erhöhung der Apertur
  • Verkleinerung der Lichtwellenlänge

Lösung 7.8

Lösung 7.9

Lösung 7.10

Hellfeld: Probe wird direkt beleuchtet, das reflektierte Licht wird registriert.

Dunkelfeld: Probe wird seitlich beleuchtet, das an Objektkanten gestreute Licht wird registriert.

Lösung 7.11

vgl. Seite 211/212,  Abb. 7.14

Lösung 7.12

Die Elektronen benötigen eine große freie Weglänge.

Lösung 7.13

Nicht elektrisch leitende Proben, ohne Beschichtung würden sich die Proben durch die Elektronen aufladen. Das würde zu unscharfen Bildern führen.

Lösung 7.14

Beim Rastertunnelmikroskop wird ein Tunnelstrom zwischen der Nadelspitze und einer elektrisch leitenden Probe gemessen und zur Regelung der Abtasthöhe verwendet. Es können nur leitfähige Proben untersucht werden.

Lösung 7.15

3. Ordnung: 220, 4. Ordnung 290

Lösung 7.16

Bei zur großem Nadelradius können die Ecken oder der der Boden eines Grabens ggf. nicht mehr erreicht werden.

Lösung 7.17

Schwingquarz: Messung bei der Beschichtung in situ möglich, es wird nicht die Probe direkt gemessen sondern neben der Probe.

Profilometer: universell anwendbar, sofern eine Stufe vorhanden ist, Probe muss aber aus einer Vakuumkammer entnommen werden, dadurch kann sie sich verändern.

Lösung 7.18

a) Schwingquarz

b) Profilometer

c) Reflexionsspektroskopie, Ellipsometrie

d) Profilometer, Interferometer

e) Reflexionsspektroskopie, Interferometrie

Lösung 7.19

Verstärkung (k = 2,4,6,8,10): 1920nm, 960nm, 640nm, 480nm, 384nm

Auslöschung (k = 1,3,5,7,9): 3940nm, 1280nm, 768nm, 548nm, 427nm

Übereinstimmung mit Abb. 7.26(re) im Rahmen der Messgenauigkeit

Lösung 7.20

Chipgehäuse (C)
Leiterplatte (C,Si)
Chip (Si)
Leiterbahnen (Cu)
Pads (Au)