Auf dieser Website finden Sie die Lösungen zu Aufgaben aus dem Lehrbuch. Außerdem können Sie hier im Laufe der Zeit Informationen, Bilder oder Videos zu den einzelnen Kapiteln finden.

• Kapitel 1: Arbeitswelt der Mikrotechnologinnen und Mikrotechnologen
• Kapitel 2: Werkstoffe in der Mikrosystemtechnik
• Kapitel 3: Leitungsvorgänge in ausgewählten Werkstoffen
• Kapitel 4: Aufbau und Funktionsweise elektrischer und elektronischer Bauelemente
• Kapitel 5: Bedingungen für die Fertigung
• Kapitel 6: Qualitätsmanagement
• Kapitel 7: Mess- und Prüfverfahren
• Kapitel 8: Vom Ausgangsstoff zum Endprodukt
• Kapitel 9: Wafereingangskontrolle und Spezifikationen
• Kapitel 10: Beschichtungstechnologien
• Kapitel 11: Photolithographie
• Kapitel 12: Ätzprozesse
• Kapitel 13: Dotierung
• Kapitel 14: Fertigstellung mikrotechnischer Produkte
• Kapitel 15: Prozessintegration
• Kapitel 16: Mikrosysteme
• Kapitel 17: Optische Mikrosysteme
• Kapitel 18: Gedruckte Elektronik
  • Literatur
  • Bilder
  • Lösungen
  • Videos
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